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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid-Siliciumnitrid-Schichten / Institut für Metallkunde der Universität Stuttgart ... Vorgelegt von Florian Kauffmann
Person(en) Kauffmann, Florian (Verfasser)
Organisation(en) Universität Stuttgart. Institut für Metallkunde (Herausgebendes Organ)
Verlag Stuttgart : Max-Planck-Inst. für Metallforschung
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2004]
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 3,6 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Kauffmann, Florian: Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid-Siliciumnitrid-Schichten
Hochschulschrift Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2003
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-15879
URL http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2004/1587/pdf/Doktorarbeit_Kauffmann.pdf (Verlag)
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2004/1587/index.html (Verlag)
Beziehungen Max-Planck-Institut für Metallforschung: Bericht ; Nr. 140
Schlagwörter PVD-Verfahren ; Nanostrukturiertes Material ; Titannitrid ; Titan
DDC-Notation 546.51224 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 540 Chemie

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