Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Titel Yield improvement planning for the recycle processes of test wafers / by Muh-Cherng Wu, C.S. Chien, K.S. Lu
Person(en) Wu, Muh-Cherng (Verfasser)
Chien, C.S (Verfasser)
Lu, K.S (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format 1 Online-Ressource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2404231131384.149156589186
DOI: 10.1007/s00170-004-2316-z
URL https://doi.org/10.1007/s00170-004-2316-z
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2005
DDC-Notation 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: The international journal of advanced manufacturing technology (Bd. 27, 16.3.2005, Nr. 11-12, date:2.2006: 1228-1234)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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