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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1166514730
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Electrical and Electromechanical Properties of Ferroelectric Thin Films / Peter Gerber
Person(en) Gerber, Peter (Verfasser)
Ausgabe 1. Auflage
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, 125 Seiten : 111 Illustrationen (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Gerber, Peter: Electrical and electromechanical properties of ferroelectric thin films
Hochschulschrift Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2018090908013711763240
ISBN/Einband/Preis 978-3-8322-5626-5
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Berichte aus der Halbleitertechnik
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Ferroelektrikum ; PZT ; Dünne Schicht ; Stoffeigenschaft ; Ätzen ; System-in-Package
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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