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Artikel
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1380520010
Titel Focused Ion Beam (FIB)-basierte Zielpräparation an Transistoren der 70 nm-Generation zur Elektronenholographie
Person(en) Mühle, Uwe (Verfasser)
Sickmann, Jan (Verfasser)
Hillmann, Lutz (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2511020608071.499444079609
DOI: 10.3139/147.110067
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 09.05.2013
DDC-Notation 616.075 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Enthalten in: Practical metallography (Bd. 46, 2009, Nr. 10: 509-520. 12 S.)
Sachgruppe(n) 610 Medizin, Gesundheit

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