Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwurf einer modularen Steuerung für Nanopositionier- und Nanomessmaschinen / von Sebastian Frank
Person(en) Frank, Sebastian (Verfasser)
Verlag Ilmenau : Univ.-Verl. - [Ilmenau] : [Univ.-Bibliothek] [Vertrieb]
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 7,9 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Entwurf einer modularen Steuerung für Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
Hochschulschrift Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2007000238
URL http://www.db-thueringen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-12898/ilm1-2007000238.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
ISBN/Einband/Preis 978-3-939473-23-7
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Positionierantrieb ; Präzisionsmessung ; Nanometerbereich ; Steuerungssystem ; Modulares Softwaresystem ; XML
Positionierantrieb ; Präzisionsmessung ; Nanometerbereich ; Teleservice
DDC-Notation 621.8 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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