Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Titel Ultra Thin No/N20 Oxynitride Dielectric for Advanced Flash Memory Application: Single Wafer and Batch Technology / by R. Zonca, B. Crivelli, M. L. Polignano, F. Cazzaniga, M. Alessandri, A. P. Caricato, M. Bersani, M. Sbetti, L. Vanzetti, G. C. Xing, G. E. Miner, N. Astici, S. Kuppurao, D. Lopes, S. Nesso
Person(en) Zonca, R. (Verfasser)
Crivelli, B. (Verfasser)
Polignano, M. L. (Verfasser)
Cazzaniga, F. (Verfasser)
Alessandri, M. (Verfasser)
Caricato, A. P. (Verfasser)
Bersani, M. (Verfasser)
Sbetti, M. (Verfasser)
Vanzetti, L. (Verfasser)
Xing, G. C. (Verfasser)
Miner, G. E. (Verfasser)
Astici, N. (Verfasser)
Kuppurao, S. (Verfasser)
Lopes, D. (Verfasser)
Nesso, S. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021040923254539436745
DOI: 10.1557/PROC-592-141
URL https://doi.org/10.1557/PROC-592-141
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2000
DDC-Notation 661 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 592, 1.4.2000, Nr. 1, date:12.1999: 161-166)
Sachgruppe(n) 660 Technische Chemie

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