Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "17801-9"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/940295679 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Oberflächenqualität und Randzonenbeeinflussung beim Planschleifen einkristalliner Siliciumscheiben / Bernhard Frank Holz |
| Person(en) | Holz, Bernhard Frank (Verfasser) |
| Verlag | München ; Wien : Hanser |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1994 |
| Umfang/Format | III, 184 S. : graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-446-17801-4 kart. 3-446-17801-5 kart. |
| Beziehungen | Produktionstechnik - Berlin ; 143 |
| Anmerkungen | Status nach VGG: vergriffen |
| Schlagwörter | Wafer ; Silicium ; Flachschleifen ; Oberflächenschaden ; Mikrostruktur ; Randschicht |
| Sachgruppe(n) | 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 37 Elektrotechnik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 1994 A 28532
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 1994 A 28532
Bereitstellung in Leipzig |
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