Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "Max" and "Planck"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/940894963 |
| Titel | Aufbau eines In-situ-IR-Spektralellipsometers zur Charakterisierung plasmadeponierter C:H-Schichten : design of an in-situ spectroscopic IR ellipsometer for characterization of plasma-deposited C:H films / Armin Friedl. Max-Planck-Institut für Plasmaphysik Garching bei München |
| Person(en) | Friedl, Armin (Verfasser) |
| Ausgabe | Als Ms. gedr. |
| Verlag | Garching bei München : Max-Planck-Inst. für Plasmaphysik |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1994 |
| Umfang/Format | 91 S. : graph. Darst. ; 30 cm |
| ISBN/Einband/Preis | kart. |
| Identifikationsnummern | Reportnummer: IPP 4 267 |
| Anmerkungen |
Literaturverz. S. 88 - 91 Status nach VGG: vergriffen |
| Sachgruppe(n) | 29 Physik, Astronomie |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 1994 B 3511
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 1994 B 3511
Bereitstellung in Leipzig |
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