Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: swiRef=042609976
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/972083561 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Plasmadiagnostik des MSIP-Prozesses mittels energiedispersiver Massenspektroskopie / Norbert Papenfuß-Janzen |
| Person(en) | Papenfuß-Janzen, Norbert (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Aachen : Wiss.-Verl. Mainz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2004 |
| Umfang/Format | IV, 125 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss. |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-86130-106-6 kart. : EUR 40.40 3-86130-106-7 kart. : EUR 40.40 |
| EAN | 9783861301066 |
| Beziehungen | Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe ; Bd. 68 |
| Schlagwörter | Magnetronsputtern ; Ionenplattieren ; Plasmadiagnostik ; Energiespektrum ; Massenspektrometrie |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Frankfurt |
Signatur: 2006 A 18021
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2006 A 26514
Bereitstellung in Leipzig |

