Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: swiRef=042609976
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/96291293X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen / von: Matthias Schulze |
| Person(en) | Schulze, Matthias (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2001 |
| Umfang/Format | ca. 4,9 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schulze, Matthias: Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen |
| Hochschulschrift | Magdeburg, Univ., Diss., 2001 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201010122213 |
| URL | http://diglib.uni-magdeburg.de/Dissertationen/2001/matschulze.pdf |
| Schlagwörter | Magnetronsputtern ; Titan ; Titandioxid ; Glimmentladung ; Plasmadiagnostik ; Emissionsspektroskopie |
| Sachgruppe(n) | 29 Physik, Astronomie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |

