Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen / von: Matthias Schulze
Person(en) Schulze, Matthias (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2001
Umfang/Format ca. 4,9 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schulze, Matthias: Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen
Hochschulschrift Magdeburg, Univ., Diss., 2001
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-201010122213
URL http://diglib.uni-magdeburg.de/Dissertationen/2001/matschulze.pdf
Schlagwörter Magnetronsputtern ; Titan ; Titandioxid ; Glimmentladung ; Plasmadiagnostik ; Emissionsspektroskopie
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie

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