Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/998393592 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Capacitive surface-micromachined pressure sensors on fused silica : contributions to micromachining on fused silica / von Timo Schary |
| Person(en) | Schary, Timo (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 32,1 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schary, Timo: Capacitive surface-micromachined pressure sensors on fused silica |
| Hochschulschrift | Bremen, Univ., Diss., 2009 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:46-diss000115721 |
| URL | http://elib.suub.uni-bremen.de/diss/docs/00011572.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Messgerät |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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