Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/997437812 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Ein MEMS-Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip / Dirk Tenholte |
Person(en) | Tenholte, Dirk (Verfasser) |
Ausgabe | [Online-Ausg.] |
Sekundärausgabe | Online-Ausg.: [Chemnitz] : [Univ.-Bibliothek der Techn. Univ.], 2009. Online-Ressource |
Verlag | Chemnitz : Univ.-Verl. |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
Umfang/Format | 186 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, ca. 15,9 MB |
Hochschulschrift | Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200901150 |
URL |
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2009/0115/data/dissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2009/0115 (Verlag) |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | Vakuumsensor ; MEMS ; Geräteentwicklung |
DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
