Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/982287267 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Integration of ferroelectric thin films into silicon based microsystems / vorgelegt von Carsten Kügeler |
| Person(en) | Kügeler, Carsten (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 6,2 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Kügeler, Carsten: Integration of ferroelectric thin films into silicon based microsystems |
| Hochschulschrift | Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-16004 |
| URL |
http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2006/1600/pdf/Kuegeler_Carsten.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2006/1600/ (Verlag) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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