Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/96713837X |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Ein spiegelmatrix-basiertes optisches 3D-Messsystem für die Mikrostrukturprüfung / vorgelegt von Frank Bitte |
Person(en) | Bitte, Frank (Verfasser) |
Verlag | Aachen : Shaker |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2003 |
Umfang/Format | ca. 6,3 MB |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Bitte, Frank: Ein spiegelmatrix-basiertes optisches 3D-Messsystem für die Mikrostrukturprüfung |
Hochschulschrift | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2002 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-5136 |
URL |
http://sylvester.bth.rwth-aachen.de/dissertationen/2003/043/03_043.pdf http://sylvester.bth.rwth-aachen.de/dissertationen/2003/043/index.htm (Verlag) |
ISBN/Einband/Preis |
978-3-8322-1072-4 3-8322-1072-5 |
Beziehungen | Berichte aus der Produktionstechnik ; Bd. 2003,2 |
Schlagwörter | Spiegelsystem ; Mikrosystemtechnik ; Optische Messung ; Oberflächenmessung ; Online-Publikation |
Sachgruppe(n) | 29 Physik, Astronomie ; 35 Technik allgemein ; 37 Elektrotechnik |
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