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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ein spiegelmatrix-basiertes optisches 3D-Messsystem für die Mikrostrukturprüfung / vorgelegt von Frank Bitte
Person(en) Bitte, Frank (Verfasser)
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2003
Umfang/Format ca. 6,3 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Bitte, Frank: Ein spiegelmatrix-basiertes optisches 3D-Messsystem für die Mikrostrukturprüfung
Hochschulschrift Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2002
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-5136
URL http://sylvester.bth.rwth-aachen.de/dissertationen/2003/043/03_043.pdf
http://sylvester.bth.rwth-aachen.de/dissertationen/2003/043/index.htm (Verlag)
ISBN/Einband/Preis 978-3-8322-1072-4
3-8322-1072-5
Beziehungen Berichte aus der Produktionstechnik ; Bd. 2003,2
Schlagwörter Spiegelsystem ; Mikrosystemtechnik ; Optische Messung ; Oberflächenmessung ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie ; 35 Technik allgemein ; 37 Elektrotechnik

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