Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/988058995 |
| Art des Inhalts | Konferenzschrift, 2008, Dresden |
| Titel | EMLC 2008 : lectures held at the GMM conference, January 21 - 24, 2008 in Dresden, Germany ; proceedings / 24th European Mask and Lithography Conference ... Uwe Behringer, conference chair, ed. ... |
| Person(en) | Behringer, Uwe (Mitwirkender) |
| Organisation(en) | EMLC (24 : 2008 : Dresden) (Herausgebendes Organ) |
| Verlag | Berlin ; Offenbach : VDE-Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | 1 CD-ROM ; 12 cm |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8007-3079-7 : EUR 175.00 3-8007-3079-0 : EUR 175.00 |
| Bestellnummer(n) | 563079 |
| EAN | 9783800730797 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen | Titel auf dem Behältnis |
| Schlagwörter |
Maskentechnik ; Kongress ; Dresden <2008> ; CD-ROM Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Kongress ; Dresden <2008> ; CD-ROM |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2008 CRA 3165
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2008 CRA 1053
Bereitstellung in Leipzig |
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