Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/982362536 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Modellierung und Untersuchungen zur Esterspaltung in modernen Photoresistmaterialien / vorgelegt von Pedro Javier Rodríguez Cantó |
| Person(en) | Rodríguez Cantó, Pedro Javier (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 2,3 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Rodríguez Cantó, Pedro Javier: Modellierung und Untersuchungen zur Esterspaltung in modernen Photoresistmaterialien |
| Hochschulschrift | Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-4790 |
| URL |
http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/479/pdf/Diss_Rodriguez.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/479/index.html (Verlag) |
| Schlagwörter | Photoresist ; Tiefes Ultraviolett ; Diffusion ; Säure ; Belichtung ; Inhibitor ; Modellierung ; Simulation ; Lithographie <Halbleitertechnologie> ; Chemische Reaktion |
| DDC-Notation | 547.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 540 Chemie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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