Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1141792389 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern / Andreas Michel, Robert Ruprecht, Michael Harmening, Walter Bacher |
| Person(en) |
Michel, Andreas (Verfasser) Ruprecht, Robert (Verfasser) Harmening, Michael (Verfasser) Bacher, Walter (Verfasser) |
| Verlag | Karlsruhe : KIT-Bibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1993 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Karlsruhe, Universität Karlsruhe, 1992, Dissertation von Andreas Michel |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA152931 |
| URL | http://digbib.ubka.uni-karlsruhe.de/volltexte/15293 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | KfK-Berichte ; 5171 |
| Schlagwörter | Mikrostruktur* ; Abformung* ; Prägen* ; LIGA-Verfahren* ; Galvanoplastik* ; Röntgentiefenlithographie* ; Stoffeigenschaft* (*maschinell ermittelt) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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