Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen / Alexander Leopold
Person(en) Leopold, Alexander (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2002
Umfang/Format [6], 132 Bl. : graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Leopold, Alexander: Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen
Hochschulschrift München, Techn. Univ., Diss., 2002
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Silicium ; Wafer ; Oberflächenreinigung ; Wasserstoffperoxid ; Komplexbildner ; Einstufenprozess
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 2003 B 5952
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
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Leipzig Signatur: H 2003 B 5952
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
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