Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
Neuigkeiten Vom 10. September 2025, 13 Uhr, bis 11. September 2025, 22 Uhr, kann es zu Einschränkungen bei der Bereitstellung von Medienwerken kommen. Wir informieren Sie per E-Mail über den aktuellen Stand Ihrer Bestellungen. // From 13:00 on 10 September 2025 until 22:00 on 11 September 2025, there may be restrictions on the provision of media works. We will inform you by email about the current status of your orders.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern / Andreas Michel, Robert Ruprecht, Michael Harmening, Walter Bacher
Person(en) Michel, Andreas (Verfasser)
Ruprecht, Robert (Verfasser)
Harmening, Michael (Verfasser)
Bacher, Walter (Verfasser)
Verlag Karlsruhe : KIT-Bibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1993
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Karlsruhe, Universität Karlsruhe, 1992, Dissertation von Andreas Michel
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA152931
URL http://digbib.ubka.uni-karlsruhe.de/volltexte/15293 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen KfK-Berichte ; 5171
Schlagwörter Mikrostruktur* ; Abformung* ; Prägen* ; LIGA-Verfahren* ; Galvanoplastik* ; Röntgentiefenlithographie* ; Stoffeigenschaft* (*maschinell ermittelt)

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