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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Line edge roughness in optical critical dimension metrology / vorgelegt von magister inżynier/TU Warschau Bartosz Bilski
Person(en) Bilski, Bartosz (Verfasser)
Verlag Stuttgart : Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2016
Umfang/Format xxix, 121 Seiten : Illustrationen ; 21 cm
Hochschulschrift Dissertation, Universität Stuttgart, 2015
ISBN/Einband/Preis 978-3-923560-80-6 Broschur
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Universität Stuttgart. Institut für Technische Optik: Berichte aus dem Institut für Technische Optik ; Nr. 81
DDC-Notation 530.81 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2016 A 39636
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2016 A 23233
Bereitstellung in Leipzig




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