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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ionenunterstützte Antimon-Dotierung für die Silizium-Molekularstrahlepitaxie von Bauelementstrukturen / vorgelegt von Georg Eifler
Person(en) Eifler, Georg (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2006]
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 5,2 MB
Hochschulschrift Stuttgart, Univ., Diss., 2005
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-26229
URL http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2006/2622/pdf/Diss_GE.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2006/2622/ (Verlag)
Schlagwörter Antimon ; Molekularstrahlepitaxie ; Ionendichte ; Ionensonde ; Ionenstrahl ; Ionenquelle ; Ionenfokussierung ; Elektronenstrahlverdampfen
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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