Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ein MEMS-Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip / Dirk Tenholte
Person(en) Tenholte, Dirk (Verfasser)
Ausgabe [Online-Ausg.]
Sekundärausgabe Online-Ausg.: [Chemnitz] : [Univ.-Bibliothek der Techn. Univ.], 2009. Online-Ressource
Verlag Chemnitz : Univ.-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format 186 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, ca. 15,9 MB
Hochschulschrift Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200901150
URL http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2009/0115/data/dissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2009/0115 (Verlag)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Vakuumsensor ; MEMS ; Geräteentwicklung
DDC-Notation 681.2 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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