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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4271267-1
Sachbegriff Vergrabene Schicht
Quelle Lex. Elektronik Mikroelektronik
Thematischer Bezug Verwandter Begriff: Dünne Schicht
DDC-Notation 621.38152
Systematik 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik ; 21.5 Plasma, Gas, Flüssigkeit, Festkörper
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Thema in 21 Publikationen
  1. Entwicklung und Optimierung einer Technologie zur Herstellung ultradünner Chips mit Hilfe von Siliziumwafern mit vergrabenen Kavitäten
    Zimmermann, Martin. - Tönning : Der Andere Verl., 2010
  2. Theorie und Computersimulation der Ostwald-Reifung bei der Ionenstrahlsynthese
    Reiß, Stefan. - Dresden : Forschungszentrum Dresden, 2010
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 1 Publikation
  1. Präzipitation von SiO2 in Silizium nach einer Sauerstoff-Hochdosisimplantation
    Weber, Robert. - Dresden : Forschungszentrum Dresden, 2010





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