Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/971956995 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Lithography-free micro- and nanostructuring based on conventional plasma etching / by Georgi Todorov Georgiev |
| Person(en) | Georgiev, Georgi Todorov (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2004 |
| Umfang/Format | IV, 95 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Georgiev, Georgi Todorov: Lithography-free micro- and nanostructuring based conventional plasma etching |
| Hochschulschrift | Kassel, Univ., Diss., 2004 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Mikrosystemtechnik ; Plasmaätzen |
| DDC-Notation | 530.44 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Frankfurt |
Signatur: 2004 A 49208 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2004 A 47253 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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