Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1069047546 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner / Joachim Fritz |
| Person(en) | Fritz, Joachim (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | Online-Ressource : 77 Ill. (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner |
| Hochschulschrift | Zugl.: Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Diss., 2012 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201503296390 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-0828-9 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 21 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | MEMS ; Mikrooptik ; Scanner ; Mikroaktor ; Kammantrieb ; Drehmomentregelung ; SOI-Technik ; Geräteentwicklung ; Herstellung |
| DDC-Notation | 621.381045 [DDC22ger]; 681.41 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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