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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/984864806
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung eines Nadelsensor-Rasterkraftmikroskops für die Fehleranalyse an integrierten Schaltungen / von Claus Hartmann
Person(en) Hartmann, Claus (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 4,2 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Entwicklung eines Nadelsensor-Rasterkraftmikroskops für die Fehleranalyse an integrierten Schaltungen
Hochschulschrift Duisburg, Essen, Univ., Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:464-20070628-144930-2
URL http://duepublico.uni-duisburg-essen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-17199/Hartmann_Diss.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
DDC-Notation 621.381548 [DDC22ger]; 681.413 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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