Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=671*
Treffer 421 von 2176
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/118136793X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie / Stephan Altmannshofer |
| Person(en) | Altmannshofer, Stephan (Verfasser) |
| Organisation(en) |
Fraunhofer EMFT, München (Herausgebendes Organ) Fraunhofer IRB-Verlag (Verlag) |
| Verlag | Stuttgart : Fraunhofer Verlag |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2019] |
| Umfang/Format | xi, 214 Seiten : Illustrationen ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Dissertation, Universität der Bundeswehr München, 2018 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8396-1443-3 Broschur : EUR 87.00 (DE), EUR 89.50 (AT), CHF 146.20 (freier Preis) 3-8396-1443-0 |
| Bestellnummer(n) | Bestellnummer: fhg-emft_2 |
| EAN | 9783839614433 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Mikrowellenplasma ; Plasmaätzen ; Plasmaabscheidung ; PECVD-Verfahren ; Schichtwachstum ; Silicium ; Epitaxie ; Reinigungsverfahren |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC23ger]; 671.735 [DDC23ger]; 621.044 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltstext Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2019 A 52802
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2019 A 52552
Bereitstellung in Leipzig |
Treffer 421 von 2176
Administration
