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Mikroformen
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Quantitative Auswertung von Schichtsystemen auf Silizium mit der Faktoranalyse in der Auger-Elektronen-Spektroskopie / Ralf Pieterwas
Person(en) Pieterwas, Ralf (Verfasser)
Ausgabe [Mikrofiche-Ausg.]
Sekundärausgabe Mikrofiche-Ausg.: Marburg : Tectum-Verl., 2001. 2 Mikrofiches : 24x - ISBN: 3-8288-1042-X in Umschlag : DM 68.00 (freier Pr.), S 490.00 (freier Pr.), sfr 68.00 (freier Pr.)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2000
Umfang/Format 103 S. : graph. Darst.
Hochschulschrift Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2000
Beziehungen Edition Wissenschaft / Reihe Elektrotechnik ; Bd. 19
Schlagwörter Siliciumcarbid ; Dünne Schicht ; Silicium ; Auger-Spektroskopie ; Tiefenprofilmessung ; Faktorenanalyse
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien

Frankfurt Signatur: 2001 MF 54
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2001 MF 54
Bereitstellung in Leipzig




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