Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/960733876 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Quantitative Auswertung von Schichtsystemen auf Silizium mit der Faktoranalyse in der Auger-Elektronen-Spektroskopie / Ralf Pieterwas |
Person(en) | Pieterwas, Ralf (Verfasser) |
Ausgabe | [Mikrofiche-Ausg.] |
Sekundärausgabe | Mikrofiche-Ausg.: Marburg : Tectum-Verl., 2001. 2 Mikrofiches : 24x - ISBN: 3-8288-1042-X in Umschlag : DM 68.00 (freier Pr.), S 490.00 (freier Pr.), sfr 68.00 (freier Pr.) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2000 |
Umfang/Format | 103 S. : graph. Darst. |
Hochschulschrift | Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2000 |
Beziehungen | Edition Wissenschaft / Reihe Elektrotechnik ; Bd. 19 |
Schlagwörter | Siliciumcarbid ; Dünne Schicht ; Silicium ; Auger-Spektroskopie ; Tiefenprofilmessung ; Faktorenanalyse |
Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien |
Frankfurt |
Signatur: 2001 MF 54
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2001 MF 54
Bereitstellung in Leipzig |
