Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "112280021"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1105696855 |
| Titel | Magnetron sputtering of piezoelectric AlN and AlScN thin films and their use in energy harvesting applications / by Stephan Barth, Hagen Bartzsch, Daniel Glöß, Peter Frach, Thomas Modes, Olaf Zywitzki, Gunnar Suchaneck, Gerald Gerlach |
| Person(en) |
Barth, Stephan (Verfasser) Bartzsch, Hagen (Mitwirkender) Glöß, Daniel (Mitwirkender) Frach, Peter (Mitwirkender) Modes, Thomas (Mitwirkender) Zywitzki, Olaf (Mitwirkender) Suchaneck, Gunnar (Mitwirkender) Gerlach, Gerald (Mitwirkender) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Herausgebendes Organ) |
| Umfang/Format | Online-Ressource : online resource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:1111-2016070728016 DOI: 10.1007/s00542-015-2787-x |
| URL | http://dx.doi.org/10.1007/s00542-015-2787-x |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2016 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Microsystem technologies (Bd. 22, 9.1.2016, Nr. 7, date:7.2016: 1613-1617) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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