Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1069046191 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors / Nils Rasmus Behnel |
| Person(en) | Behnel, Nils Rasmus (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | Online-Ressource : 17 farb. Ill. (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Behnel, Nils Rasmus: Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors |
| Hochschulschrift | Zugl.: Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Diss., 2012 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201503295043 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-0962-0 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 22 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Drucksensor ; Siliciumcarbid ; MEMS ; Herstellung ; CVD-Verfahren ; Trockenätzen ; Nassätzen ; Kontaktieren |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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