Positioning with nanometre precision requires a high tech nanopositioning and nanomeasuring machine and an optimal machine setup

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/106693200X
Titel	Positioning with nanometre precision requires a high tech nanopositioning and nanomeasuring machine and an optimal machine setup / Bernd Fiedler ; Erik Gerlach ; Isabel Husung ; Igor Zeidis ; Klaus Zimmermann ; Roland Füßl ; Eberhard Manske ; Tino Hausotte ; René Theska. Universitätsbibliothek <Ilmenau> / ilmedia
Person(en)	Fiedler, Bernd (Mitwirkender) Gerlach, Erik (Mitwirkender) Husung, Isabel (Mitwirkender) Zeidis, Igor (Mitwirkender) Zimmermann, Klaus (Mitwirkender) Füßl, Roland (Mitwirkender) Manske, Eberhard (Mitwirkender) Hausotte, Tino (Mitwirkender) Theska, René (Mitwirkender)
Organisation(en)	Universitätsbibliothek <Ilmenau> / ilmedia (Sonstige)
Verlag	Ilmenau : Universitätsbibliothek Ilmenau
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format	Online-Ressource
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014iwk-029:6
URL	http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=24984 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n)	Englisch (eng)
Beziehungen	Shaping the Future by Engineering : proceedings ; 58th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, 8 - 12 September 2014 ; [1.1.8]
Sachgruppe(n)	620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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