Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwurf und Charakterisierung von mikromechanischen Drehratensensoren in Silizium / Stefan Günthner
Person(en) Günthner, Stefan (Verfasser)
Ausgabe 1. Auflage
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format Online-Ressource, 180 Seiten : 94 Illustrationen (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Günthner, Stefan: Entwurf und Charakterisierung von mikromechanischen Drehratensensoren in Silizium
Hochschulschrift Dissertation, Universität des Saarlandes, Saarbrücken, 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2019051907570101513784
ISBN/Einband/Preis 978-3-8322-5445-2
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 2
Schlagwörter Drehratensensor ; Gyroskop ; Silicium ; Wafer ; MEMS ; Systementwurf
DDC-Notation 681.753 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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