Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1038076013 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Legierungseinflüsse auf die Elektromigration in Submikrometer Aluminium-Leiterbahnen / Jochen Böhm |
| Person(en) | Böhm, Jochen (Verfasser) |
| Verlag | Stuttgart : Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2001 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Stuttgart, Universität Stuttgart, Diplomarbeit |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-9574 |
| URL | http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2001/957/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Elektromigration ; Ionenimplantation |
| Sachgruppe(n) | 793 Spiel |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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