Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten 24. Dezember 2025 bis 1. Januar 2026: Die Deutsche Nationalbibliothek bleibt an beiden Standorten geschlossen. // 24 December 2025 to 1 January 2026: The German National Library will be closed at both locations.
 
 

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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1203374895
Titel Additive Nano-Lithography with Focused Soft X-rays: Basics, Challenges, and Opportunities / Andreas Späth
Person(en) Späth, Andreas (Verfasser)
Verlag Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2019
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus4-125966
DOI: 10.3390/mi10120834
URL https://opus4.kobv.de/opus4-fau/frontdoor/index/index/docId/12596 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Micromachines 10.12 (2019): 834.
DDC-Notation 530.417 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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