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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1198223170
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen / Jürgen Zanghellini, A. El-Kholi, Jürgen Mohr
Person(en) Zanghellini, Jürgen (Verfasser)
El-Kholi, Aida (Verfasser)
Mohr, Jürgen (Verfasser)
Verlag Karlsruhe : KIT-Bibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1998
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Karlsruhe, Karlsruher Institut für Technologie (KIT), 1998, Dissertation von Jürgen Zanghellini
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2019102907330215341935
DOI: 10.5445/IR/31998
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6114
Schlagwörter Mikrostruktur* ; Photoresist* (*maschinell ermittelt)

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