Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1141792435 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Grundlagen und Anwendungsmoeglichkeiten der LIGA-Technik in der Mikrooptik / Jost Göttert, J. Mohr |
| Person(en) |
Göttert, Jost (Verfasser) Mohr, Jürgen (Verfasser) |
| Verlag | Karlsruhe : KIT-Bibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1992 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Karlsruhe, Universität Karlsruhe, 1992, Dissertation von J. Göttert |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA1436920 |
| URL | http://digbib.ubka.uni-karlsruhe.de/volltexte/143692 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | KfK-Berichte ; 5153 |
| Schlagwörter | Mikrooptik* ; LIGA-Verfahren* ; Seitenwand* ; Röntgentiefenlithographie* ; Koppelelement* ; Mikroelektronik* ; Chip* (*maschinell ermittelt) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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