Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=68*
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1186717327 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Prozess- und Sensorentwicklung für fertigungsgerechte hochtemperaturtaugliche Drucksensorsysteme auf Siliziumbasis / von Herrn Dipl.-Ing. (FH) Robert Täschner |
Person(en) | Täschner, Robert (Verfasser) |
Verlag | Ilmenau : Technische Universität Ilmenau |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2018] |
Umfang/Format | 205 Seiten : Illustrationen ; 21 cm |
Hochschulschrift | Dissertation, Technische Univesität Ilmenau, 2018 |
ISBN/Einband/Preis | Broschur |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | Halbleiterdrucksensor ; Siliciumsensor ; Temperaturbeständigkeit ; Hochtemperatur ; Geräteentwicklung ; Mikrofertigung |
DDC-Notation | 681.2 [DDC23ger] |
Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
Frankfurt |
Signatur: 2019 A 35498
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2019 A 67389
Bereitstellung in Leipzig |
