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Bücher
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1186717327
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Prozess- und Sensorentwicklung für fertigungsgerechte hochtemperaturtaugliche Drucksensorsysteme auf Siliziumbasis / von Herrn Dipl.-Ing. (FH) Robert Täschner
Person(en) Täschner, Robert (Verfasser)
Verlag Ilmenau : Technische Universität Ilmenau
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2018]
Umfang/Format 205 Seiten : Illustrationen ; 21 cm
Hochschulschrift Dissertation, Technische Univesität Ilmenau, 2018
ISBN/Einband/Preis Broschur
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Halbleiterdrucksensor ; Siliciumsensor ; Temperaturbeständigkeit ; Hochtemperatur ; Geräteentwicklung ; Mikrofertigung
DDC-Notation 681.2 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2019 A 35498
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2019 A 67389
Bereitstellung in Leipzig




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