Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1355329019 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung von Hochtemperatur-Schichtsystemen für MEMS Anwendungen mittels Atmosphärendruck-Sputtertechnologie (APSLD) / Jan Bickel ; Gutachter: Klaus-Dieter Lang, Martin Schneider-Ramelow, Stefan E. Schulz, Ha-Duong Ngo ; Betreuer: Klaus-Dieter Lang |
| Person(en) |
Bickel, Jan (Verfasser) Lang, Klaus-Dieter (Akademischer Betreuer) Lang, Klaus-Dieter (Gutachter) Schneider-Ramelow, Martin (Gutachter) Schulz, Stefan E. (Gutachter) Ngo, Ha-Duong (Gutachter) |
| Verlag | Berlin : Technische Universität Berlin |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2025 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Berlin, Technische Universität Berlin, 2024 |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2502050057378.568043298281 DOI: 10.14279/depositonce-22515 Handle: 11303/23702 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | MEMS* ; Internetphänomen* ; Verbindungstechnik* ; Dünne Schicht* ; Silicium* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 620.19 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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