Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1098040031 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Funktionsschichten (Ni:a-C:H) für Drucksensoren / Ralf Koppert |
| Person(en) | Koppert, Ralf (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | Online-Ressource : 64 Illustrationen (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Koppert, Ralf: Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Funktionsschichten (Ni:a-C:H) für Drucksensoren |
| Hochschulschrift | Dissertation, Universität des Saarlandes, Saarbrücken, 2010 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201604241598 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-9708-4 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 12 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Drucksensor ; Dünne Schicht ; Diamantähnlicher Kohlenstoff ; Wasserstoff ; Nickel ; Sputtern |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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