Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1264792956 |
Art des Inhalts | Konferenzschrift, 2016, Duisburg |
Titel | Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 6. GMM-Workshops, 5.-6. Oktober 2016 in Duisburg / Tagungsleiter: Prof. Martin Hoffmann, Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano |
Organisation(en) |
GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (6. : 2016 : Duisburg) (Verfasser) VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Herausgeber) VDE Verlag (Verlag) |
Verlag | Leipzig ; Frankfurt am Main : Deutsche Nationalbibliothek |
Zeitliche Einordnung |
Erscheinungsdatum: 2022 Original: 2016 |
Umfang/Format | 1 Online-Ressource (1 CD-ROM) |
Andere Ausgabe(n) | Digitale Übertragung von 6.: GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (6. : 2016 : Duisburg): Mikro-Nano-Integration |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2022091816031222558179 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Schlagwörter | Mikrosystemtechnik ; Nanotechnologie |
DDC-Notation | 621 [DDC22ger]; 620.5 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
Frankfurt | Exemplar nur eingeschränkt nutzbar |
Leipzig | Exemplar nur eingeschränkt nutzbar |
