Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1058354388 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Investigation of HCl-assisted MOVPE of group III nitrides in a planetary hot-wall system / Dirk Fahle |
| Person(en) | Fahle, Dirk (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Fahle, Dirk: Investigation of HCl assisted MOVPE of group III nitrides in a planetary hot wall system |
| Hochschulschrift | Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2014 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-50638 |
| URL | http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2014/5063 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Drei-Fünf-Halbleiter , Galliumnitrid , MOCVD-Verfahren , Halbleitertechnologie |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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