Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1080765220 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Influence of the plasma chemistry and energetics of an Al cathodic arc discharge on the composition and structure of Alumina thin films / Adil Atiser |
| Person(en) | Atiser, Adil (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | Online-Ressource : 11 farb. Ill. (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Atiser, Adil: Influence of the plasma chemistry and energetics of an Al cathodic arc discharge on the composition and structure of alumina thin films |
| Hochschulschrift | Zugl.: RWTH Aachen University, Diss., 2010 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201601033838 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-9842-5 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Materials Chemistry ; 2011,10 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Aluminiumoxide ; Dünne Schicht ; Plasmaabscheidung ; Aluminiumion ; Bogenplasma |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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