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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von Übergangsmetallen am Beispiel von Eisen, Ruthenium und Wolfram / vorgelegt von Andreas Walter Schneider
Person(en) Schneider, Andreas Walter (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 4,3 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schneider, Andreas Walter: Metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von Übergangsmetallen am Beispiel von Eisen, Ruthenium und Wolfram
Hochschulschrift Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-3858
URL http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/385/pdf/Dissertation%20Andreas%20Schneider.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/385/index.html (Verlag)
Schlagwörter Beschichtung ; Gaschromatographie
DDC-Notation 671.735 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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