Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=620.5
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/990756068 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Werkzeuge und Methoden zur Automatisierung der seriellen Nanomontage im Rasterelektronenmikroskop / von Thomas Wich |
| Person(en) | Wich, Thomas (Verfasser) |
| Verlag | Berlin : Logos-Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | 225 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Oldenburg, Univ., Diss., 2008 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8325-2035-9 kart. : EUR 38.00 (DE), EUR 39.10 (AT), sfr 67.60 (freier Pr.) |
| EAN | 9783832520359 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
Nanotechnologie ; Montage ; Automation ; Rasterelektronenmikroskop ; Abstandsmessung ; Taktiler Sensor Nanotechnologie ; Montage ; Automation ; Rasterelektronenmikroskop ; CVD-Verfahren ; Elektronenstrahlverdampfen |
| DDC-Notation | 620.5 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltsverzeichnis Inhaltstext |
| Frankfurt |
Signatur: 2008 A 81835
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2008 A 102259
Bereitstellung in Leipzig |

