Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/101818323X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Serielles Co-Sputtern : Entwicklung einer flexiblen Beschichtungstechnologie und deren Charakterisierung am Beispiel der Ratenerhöhung von Metalloxiden durch Co-Dotierung / Michael Austgen |
| Person(en) | Austgen, Michael (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Austgen, Michael: Serielles Co-Sputtern |
| Hochschulschrift | Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-38585 |
| URL | http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2011/3858/pdf/3858.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Reaktives Sputtern |
| DDC-Notation | 530.417 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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