Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Defect engineering in transition metal based nitride thin films by energetic treatment during deposition / vorgelegt von Dipl.-Ing. Christina Wüstefeld
Person(en) Wüstefeld, Christina (Verfasser)
Organisation(en) Logos Verlag Berlin (Verlag)
Verlag Berlin : Logos Verlag
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2016]
Umfang/Format XIV, 215 Seiten : Illustrationen ; 21 cm
Hochschulschrift Dissertation, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2015
ISBN/Einband/Preis 978-3-8325-4267-2 Broschur : EUR 55.00 (DE), EUR 56.50 (AT)
3-8325-4267-1
EAN 9783832542672
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Übergangsmetallnitride ; Dünne Schicht ; PVD-Verfahren ; Ionenbestrahlung
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik
Weiterführende Informationen Inhaltstext
Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2016 A 34149
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2016 A 53098
Bereitstellung in Leipzig




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