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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel The influence of energetic bombardment on the structure formation of sputtered zinc oxide films : development of an atomistic growth model and its application to tailor thin film properties / Dominik Köhl
Person(en) Köhl, Dominik (Verfasser)
Verlag Aachen : Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2011
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Köhl, Dominik: The influence of energetic bombardment on the structure formation of sputtered zinc oxide films
Hochschulschrift Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-35985
URL http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2011/3598/pdf/3598.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Strukturbildung , Zinkoxid , Reaktives Sputtern , Sputtern , Beschichten
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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