Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/112436580X |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Reinigung und Strukturierung empfindlicher Oberflächen mittels Excimerlaserstrahlung : Entwicklung und Anwendung eines Applikationsgerätes / Karl-Heinz Steglich |
Person(en) | Steglich, Karl-Heinz (Verfasser) |
Ausgabe | 1. Auflage |
Verlag | Aachen : Shaker |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2010 |
Umfang/Format | Online-Ressourcen, 261 Seiten : 156 Illustrationen (pdf) |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Steglich, Karl-Heinz: Reinigung und Strukturierung empfindlicher Oberflächen mittels Excimerlaserstrahlung |
Hochschulschrift | Dissertation, Helmut-Schmidt-Universität, Univ. der Bundeswehr Hamburg, 2008 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201701292857 |
ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-8782-5 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Beziehungen | Berichte aus der Lasertechnik |
Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
Schlagwörter | Oberflächenreinigung ; Strukturierung ; Mikrobearbeitung ; Laserablation ; Excimerlaser ; Geräteentwicklung |
DDC-Notation | 620.44 [DDC22ger]; 681.76 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
