Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/987204599 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Evaluierung hochauflösender, nicht polymerer Elektronenstrahllacke auf Calixaren-Basis / vorgelegt von Holger Sailer |
| Person(en) | Sailer, Holger (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | 103 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Sailer, Holger: Evaluierung hochauflösender, nicht polymerer Elektronenstrahllacke auf Calixaren-Basis |
| Hochschulschrift | Tübingen, Univ., Diss., 2007 (Nicht für den Austausch) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Lithographie <Halbleitertechnologie> ; Photoresist |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2008 A 8533 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2008 A 46738 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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