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Sachbegriffe
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Sachbegriff Chemisch-mechanisches Polieren
Quelle Wikipedia
Synonyme Chemisch-mechanisches Planarisieren
Oberbegriffe Polieren
DDC-Notation 671.72
621.38152
Systematik 31.8b Feinwerktechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik ; 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Thema in 10 Publikationen
  1. Wirkweise des Poliermittelträgers beim Polieren optischer Gläser
    Wächter, Daniel. - Aachen : Apprimus Wissenschaftsverlag, 2018, 1. Auflage
  2. ICPT 2017
    ICPT (Veranstaltung : 2017 : Löwen). - Berlin : VDE VERLAG GMBH, [2017]
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 1 Publikation
  1. Entwicklung einer Methodik zur Vorhersage von Prozesskenndaten für das chemisch-mechanische Polieren in der Halbleiterindustrie
    Eckhardt, Nora. - Dresden, [2021]





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